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FlexTRAK®-2MB 等離子系統
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FlexTRAK®-2MB 等離子系統
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特點和優勢
●獨特的晶舟分流特點優化生產率
●多個在線式模塊提高產能
●均勻性極高的等離子體處理技術
●生產待料的雙軌道晶舟控制
●倒裝芯片底部填充(FCUF)工藝的最佳選擇