特點和優勢

●採用PLC控制，觸摸屏式人機界面，實時工藝監控

●靈活的電極組合適用於不同類型的產品載具實現Direct 或DownStream 模式等離子工藝

●具有自動阻抗匹配的13.56MHz射頻電源保證工藝的重複性

●專有軟件控制系統可記錄工藝和生產數據，便於統計和工藝控制