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AP-600 等離子系統
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AP-600 等離子系統
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特點和優勢
●觸摸屏式人機界面,實時工藝監控
●靈活的電極組合適用於不同類型的產品、組件或載具
●具有自動匹配網絡的13.56MHz射頻電源保證出色的工藝重複性
●方便的設施連接,便於滿足驗證過程中的定期校準要求