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AP-600 等離子系統

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特點和優勢

●觸摸屏式人機界面,實時工藝監控


●靈活的電極組合適用於不同類型的產品、組件或載具


●具有自動匹配網絡的13.56MHz射頻電源保證出色的工藝重複性


●方便的設施連接,便於滿足驗證過程中的定期校準要求